スクラバー

セイコー化工機製環境装置(スクラバー)

スクラバーTRSーF形
◇特長
コンパクトなパッケージタイプ

本体はFRPの一体成型。送風機・ポンプもセットし、工場出荷の為、現場施工は簡単で据付は1日で済みます。
FRP製で高耐蝕
洗浄塔本体、送風機は、耐蝕性に優れたFRP製です。(ポンプはPP製です。)
軽量・省スペース
大巾な性能アップにより、洗浄塔本体のFRPの一体形。
ポンプ・送風機もセットし、コンパクトにまとめました。
メンテナンス性の向上
メンテナンスを考慮し、充填物取出口及びミストキャッチャ取出口をそれぞれ設けました。
キャビネット型SBS-FU形
◇特長

・洗浄塔内に温度センサーを標準装備しております。
・浄塔本体下部をSUS304で製作しております。
・洗浄塔の圧力損失検知器を標準装備しております。
・循環水量の検知器を標準装備しております。
・キャビネット内にドレンパンを設置、液もれの心配がありません。
・給水、循環水、逆洗浄水の流量をキャビネット外部より点検できます。
・洗浄塔圧力損失、温度状況がキャビネット外部より点検できます。
運用可能なプロセス(処理ガス)
・CI・F系ガス用いるエッチングプロセス
・NH3ガスを用いるプロセス
・TEOSガスを用いるプロセス、等
産業機械・化学機械
本社機械部機械一課:03-4243-1222

単位換算表
用語集
PACIFIC SOWA CORPORATION / 株式会社パシフィックソーワ